CIF實驗室型等離子清洗機CPC-G系列
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CIF推出全新一代 CPC-G系列實驗室型等離子體清洗設備, 顛覆傳統等離子體清洗設備設計理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積, 使用成本低, 性價比高, 處理快速高效, 特別適合于大學, 科研院所和光電企業實驗室小批量中試生產。
更新時間:2024-03-26 16:10:22
產品特點:
◆ ?7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監測工藝參數狀態,20 個配方程序,工藝數據可存儲追溯。
◆ ?PLC 工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。
◆ ?石英真空艙,真空管路系統采用 316 不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。
◆ ?采用質量流量計,實現對氣體輸入精準控制,改變傳統浮子流量計控制氣體流量不準確問題。
◆ ?HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。
◆ ?60 度傾角操作界面設計,符合人體功能學,操作方便,界面友好。
◆ ?頂置真空艙,上開蓋設計,下壓式鉸鏈開關方式,開關蓋方便。
◆ ?采用花灑式多孔進氣方式,改變傳統等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。
◆ ?上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。
◆ ?有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。
◆ ?安全保護,艙門打開,自動關閉電源。
技術參數:
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型號 | CPC-G | CPC-Gplus |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
射頻功率 | 0-600W | 0-150W |
匹配器 | 自動匹配 | |
激發方式 | 電容式 | |
氣體控制 | 單路 MFC(可選兩路) | |
艙體尺寸 | H100xΦ269mm | |
艙體容積 | 5.6L | |
艙體材質 | 石英玻璃 | |
有效處理尺寸 | Φ269mm?圓盤 | |
時間設定 | 9999 秒 | |
真空泵 | 抽速 4m3/h | |
氣體穩定時間 | 1 分鐘 | |
真空度 | 100pa?以內 | |
電???源 | AC220V 50/60Hz ?752/302W | |
產品尺寸 | L425xW480xH445mm | |
包裝尺寸 | L550xW630xH700mm | |
整機重量 | 30kg |